特許
J-GLOBAL ID：200903027455998957
イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-255448
公開番号（公開出願番号）：特開2001-076635
出願日： 1999年09月09日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 真空容器と高電圧が印加される端板との間の絶縁物へのイオン源物質またはその化合物の付着量を減少させる。【解決手段】 端板6と同電位でイオン源ヘッド8の一部分を囲む筒状第1シールド30を端板6から真空容器2内側に向け延設する。イオン源ヘッド8の一部分を囲み、シールド30と重合部分を有する筒状で、接地電位の第2シールド32を真空容器2から端板6側に向けて延設する。両シールド30、32間の重合部分の距離Dは、両シールドが置かれている雰囲気の両シールド間電位差に対する放電開始距離をD<SB>d </SB>、プラズマ生成部10に導入されるイオン源物質の平均自由行程をλとすると、D<SB>d </SB><D<λを満たす。かつ、両シールド30、32は、イオン源運転時の両シールド30、32の表面温度をそれぞれT<SB>s1</SB>、T<SB>s2</SB>、両シールドが置かれている雰囲気のイオン源物質の再蒸発開始温度をT<SB>v </SB>とすると、T<SB>s1</SB><T<SB>v </SB>かつT<SB>s2</SB><T<SB>v</SB>に温度制御される。
請求項（抜粋）：
真空に排気される接地電位の真空容器の端部に、環状または筒状の絶縁物を介して、高電圧が印加される端板を取り付け、イオン源物質を電離させてプラズマを生成するプラズマ生成部を有するイオン源ヘッドを前記真空容器内側に向けて前記端板に取り付けた構造のイオン源において、前記イオン源ヘッドの少なくとも一部分を囲む筒状のものであって前記端板と同電位の第1のシールドを、前記端板から前記真空容器内側に向けて延設し、前記イオン源ヘッドの少なくとも一部分を囲み、かつ前記第1のシールドと重なり合う部分を有する筒状のものであって接地電位の第2のシールドを、前記真空容器から前記端板側に向けて延設しており、更にこの第1および第2のシールド間の前記重なり合う部分における距離Dは、両シールドが置かれている雰囲気における両シールド間の電位差に対する放電開始距離をD<SB>d </SB>、両シールドが置かれている雰囲気における前記イオン源物質の平均自由行程をλとすると、D<SB>d </SB><D<λを満たすように選ばれており、かつ前記第1および第2のシールドは、当該イオン源の運転時の第1および第2のシールドの表面温度をそれぞれT<SB>s1</SB>、T<SB>s2</SB>、両シールドが置かれている雰囲気における前記イオン源物質の再蒸発開始温度をT<SB>v </SB>とすると、T<SB></SB><SB>s1</SB><T<SB>v </SB>かつT<SB>s2</SB><T<SB>v </SB>を満たすように温度制御されている、ことを特徴とするイオン源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
5C030DD04
, 5C030DD05
, 5C030DE10
, 5C030DG09
