特許
J-GLOBAL ID：200903027456073043
ウェハー容器及びそのためのドア
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 英彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-188651
公開番号（公開出願番号）：特開平10-070184
出願日： 1997年07月14日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：
【要約】【課題】大型の容器においてもウェハーを有効に保持できるウェハー容器構造を提供する。【解決手段】このウェハー容器20は、ドア受容フレーム60によって形成される開口した前部40と、このドア受容用フレーム60に合った寸法のドア24を有している。ドア受容用フレーム60は両側にスロット72,74を有しており、ドア24はラッチ用アーム118を有している。このラッチ用アーム118はドア端部からスロット72,74に突出及び後退することでドア24をドア受容用フレーム60へラッチしたりラッチを外したりする。また、ドア24はウェハー係合用アーム112を有している。ウェハー係合用アーム112はウェハーの方へ向けて内側へ延びており、ドアが位置固定されるとウェハーを固定する。ラッチ用アーム118とウェハー保持用アーム112は、ドア24の内部において、回転可能なカム部材80へ連結されている。カム部材80は、まずドア24をラッチし、次にウェハー保持用アーム112を延ばすように形成されたカム面を利用している。
請求項（抜粋）：
容器部分と、これと協働するドアとを有し、円形のウェハーの端部をウェハーが水平で軸を揃えた状態で保持するためのウェハー容器であって、前記容器部分が、開口した前部と、閉じた左側部と、閉じた後部と、閉じた右側部と、閉じた上部と、閉じた底部と、開口した内部と、ほぼ四角形のドアフレームとを有し、前記ドアフレームがドアを受容するためのドアシートを形成しており、前記ドアが前記ドアフレームに受容されたときに前記ドアがウェハーの端部と対向するようになっており、また前記ドアフレームがラッチ部分を有しており、前記ドアが、前記ドアフレームと係合する外側座部分を有するドア囲壁と、前記囲壁の中に設けられていてこれに対して回転可能に連結されており、前記囲壁の外側から回転可能なカム部材であって、ラッチ用アームカム面と、ウェハー係合用カム面とを有するカム部材と、ラッチ用アームカム面と係合するカムフォロワを有し、前記カム部材が回転されると前記ドアフレームの前記ラッチ部分と係合する、外側に可動なラッチ用アームと、内外へ可動なウェハー係合用アームとこのウェハー係合用アームへ連結されているアクチュエーターアームとを有し、前記アクチュエーターアームがウェハー係合用カム面と係合するカムフォロワを有しており、前記カム部材が回転されると前記アクチュエーターアームがウェハー係合用アームを外側へ突出させウェハーの端部と係合させて前記ウェハーを保持するウェハー係合機構と、を有するウェハー容器。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 51/26
, B65D 85/86
H01L 21/68 T
, B65D 51/26
, B65D 85/38 R
