特許
J-GLOBAL ID：200903027456932003
マグネトロン放電処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
保立 浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-187340
公開番号（公開出願番号）：特開平6-002132
出願日： 1992年06月23日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：
【要約】【目的】 被処理体の電位を自由に設定することができるようにし、被処理体に到達する荷電粒子の量や運動エネルギーの制御を容易なものにする。【構成】 真空容器1の内部に配置された陰極2及び陽極4と、陰極2の一部から出て陽極4に接し陰極2の他の部分に入る磁力線と陰極2の表面とによって囲まれた閉領域から離れた位置において被処理体Sを保持する被処理体ホルダ3とを具備している。放電用電源22は、陰極2を陽極4に対して所定の負電位に保って陰極2と陽極4との間でマグネトロン放電を行わせ、ホルダ用電源32は、被処理体ホルダ3を所定の電位に保って被処理体Sへ到達する荷電粒子の量やそのエネルギーを制御する。
請求項（抜粋）：
真空容器と、この真空容器の内部に配置された陰極と、真空容器の内部に又は真空容器の一部として設けられ、陰極との間でマグネトロン放電が行われる陽極と、真空容器の内部に配置され、陰極と陽極との間の放電を利用して所定の処理を行うことが可能な位置に被処理体を保持する被処理体ホルダと、陰極と陽極との間に所定の電界を設定してマグネトロン放電を行わせる放電用電源と、放電用電源による電界に少なくとも一部が直交する磁界を発生させる磁石とを備えたマグネトロン放電処理装置であって、前記被処理体ホルダは、陰極の一部から出て前記陽極に接し陰極の他の部分に入る磁力線と陰極の表面とによって囲まれた閉領域から離れた位置において被処理体を保持するものであることを特徴とするマグネトロン放電処理装置。
IPC (5件)：
C23C 14/35
, C23F 4/00
, H01L 21/302
, H01L 21/203
, H01L 21/285
