特許
J-GLOBAL ID：200903027457812567
カラーフィルターの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-323066
公開番号（公開出願番号）：特開平6-174911
出願日： 1992年12月02日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【目的】 赤、緑、青色の透明着色パターンの膜厚分布が小さい分光特性良好なカラーフィルターの製造方法を提供すること。【構成】 スピンコータ1のチャンバー10内に配置されたガラス基板2上にカラーレジスト溶液を塗布しかつこの塗布膜面に対し略垂直な軸を中心にして基板を回転させその塗布膜厚を略均一にした後、これを乾燥させて基板上にカラーレジストの被膜を形成する方法であって、チャンバー内の空気中に含まれる溶媒量をe、チャンバー内温度における空気の飽和溶媒量をEとしたとき、チャンバー内のe/E×100[相対湿度:%]を調節してカラーレジストの膜厚を所定値に設定することを特徴とする。この方法によれば上記膜厚調整をチャンバー内の相対湿度を変えることにより行っているため、基板の設定回転数を略一定に揃えることが可能となり、かつ、これに伴い風切りの影響も略同一となり安定した膜厚分布の各色別カラーレジスト被膜を基板上に形成することが可能となる。
請求項（抜粋）：
チャンバー内に配置された基板上に、顔料、バインダー樹脂、光架橋剤、及び、溶媒を主成分とするカラーレジスト溶液を塗布し、かつ、この塗布膜面に対し略垂直な軸を中心にして上記基板を回転させその塗布膜厚を略均一にした後、これを乾燥させて上記基板上にカラーレジストの被膜を形成するカラーフィルターの製造方法において、チャンバー内の空気中に含まれる上記溶媒量をe、チャンバー内温度における空気の飽和溶媒量をEとしたとき、上記チャンバー内のe/E×100(相対湿度)を調節してカラーレジストの膜厚を所定値に設定することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
IPC (2件)：
G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
