特許
J-GLOBAL ID：200903027476397430
ポリイミドフィルム・金属箔複合フィルムの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-124636
公開番号（公開出願番号）：特開平6-316759
出願日： 1993年04月30日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：
【要約】【目的】 ポリイミドフィルムと金属箔の接着力を改善し、かつ、接着剤を使用しないで2層構造のポリイミド・金属箔複合フィルムを製造することを可能にする方法を提供する。【構成】 ポリイミドフィルム・金属箔複合フィルムの製造方法は、ポリイミドフィルムの表面をプラズマ処理してラジカルを発生させる工程、プラズマ処理されたポリイミドフィルム表面に生じたラジカル種にビニルイミダゾールをグラフト重合させるグラフト重合処理工程、および上記グラフト重合処理されたポリイミドフィルム表面にスパッタリングまたは蒸着によって金属箔膜を固定する工程よりなる。プラズマ処理は、周波数13.56MHzの高周波を用い、出力5W〜50W、圧力6.7Pa〜266Pa、照射時間2秒〜60秒の条件下で行う。
請求項（抜粋）：
ポリイミドフィルムの表面をプラズマ処理してラジカルを発生させる工程、プラズマ処理されたポリイミドフィルム表面に生じたラジカル種にビニルイミダゾールをグラフト重合させるグラフト重合処理工程、および上記グラフト重合処理されたポリイミドフィルム表面にスパッタリングまたは蒸着によって金属箔膜を固定する工程よりなることを特徴とするポリイミドフィルム・金属箔複合フィルムの製造方法。
IPC (2件)：
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