特許

J-GLOBAL ID：200903027479259667

周辺露光装置

発明者： 石丸 勝昭 ,  中島 正夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-129152
公開番号（公開出願番号）：特開平9-293675
出願日： 1996年04月24日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】被露光基板の感光面の周辺部を常に最適な照射量の露光光で露光し得る周辺露光装置を実現する。【解決手段】感光面11AXに感光材11Bが塗布されてなる被露光基板11Aの該感光面の周辺部に露光光を照射することにより、該被露光基板の感光面の周辺部を露光する周辺露光装置10において、被露光基板11Aの感光面11AXの周辺部に照射する露光光の照度を、被露光基板の感光面の内側から外側に向かう方向に変化させる照度可変手段17を設けるようにしたことにより、被露光基板の感光面の周辺部に照射する露光光の照度を感光材11Bの膜厚に応じて変化させることができ、かくして被露光基板の感光面の周辺部を常に最適な照射量の露光光で露光し得る周辺露光装置を実現できる。

請求項（抜粋）：

感光面に感光材が塗布されてなる被露光基板の該感光面の周辺部に露光光を照射することにより、該被露光基板の感光面の周辺部を露光する周辺露光装置において、前記被露光基板の前記感光面の前記周辺部に照射する前記露光光の照度を、前記被露光基板の前記感光面の内側から外側に向かう方向に変化させる照度可変手段を具えることを特徴とする周辺露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/039 501 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 577 ,  G03F 7/039 501 ,  G03F 7/20 521