特許
J-GLOBAL ID:200903027480841663
接合構造体の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人コスモス特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-108608
公開番号(公開出願番号):特開2006-281309
出願日: 2005年04月05日
公開日(公表日): 2006年10月19日
要約:
【課題】鉛フリーハンダを用いた接合において,ハンダボールの発生を抑制しつつ,ボイドを分散し減少させることのできる接合構造体の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の接合構造体の製造方法は,複数の被接合体をハンダを介して接合する接合構造体の製造方法であって,ハンダとして亜鉛とインジウムとの少なくとも一方を含有する鉛フリーハンダを用い,複数の被接合体をハンダを介して対面させた状態で雰囲気を非酸化ガスで置換し(1),その雰囲気下で大気圧より低圧の第1圧力に減圧するとともにハンダの融点より高い温度まで昇温し(2),昇温したまま第1圧力より高く大気圧を超えない第2圧力まで非酸化ガスで昇圧し(3),昇温したまま再び減圧し(4),昇温したまま再び非酸化ガスで昇圧して大気圧を超えない圧力とし(5),ハンダの融点より低い温度まで降温させる(6)ものである。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
複数の被接合体をハンダを介して接合する接合構造体の製造方法において,
ハンダとして亜鉛とインジウムとの少なくとも一方を含有する鉛フリーハンダを用い,
前記複数の被接合体をハンダを介して対面させた状態で雰囲気を非酸化ガスで置換し(1),
その雰囲気下で大気圧より低圧の第1圧力に減圧するとともにハンダの融点より高い温度まで昇温し(2),
昇温したまま前記第1圧力より高く大気圧を超えない第2圧力まで非酸化ガスで昇圧し(3),
昇温したまま再び減圧し(4),
昇温したまま再び非酸化ガスで昇圧して大気圧を超えない圧力とし(5),
ハンダの融点より低い温度まで降温させる(6)ことを特徴とする接合構造体の製造方法。
IPC (4件):
B23K 31/02
, B23K 1/00
, H01L 21/60
, H05K 3/34
FI (6件):
B23K31/02 310Z
, B23K31/02 310B
, B23K1/00 330E
, H01L21/60 311Q
, H05K3/34 507C
, H05K3/34 512C
Fターム (9件):
5E319AA03
, 5E319AB05
, 5E319AC01
, 5E319BB05
, 5E319BB10
, 5E319CC33
, 5E319GG07
, 5F044LL01
, 5F044LL05
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)