特許

J-GLOBAL ID：200903027488808983

2ステージレーザシステム

発明者： 有我 達也 ,  関 匡平 ,  若林 理
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所 ,  ウシオ電機株式会社 ,  ギガフォトン株式会社
代理人 (1件)： 韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-142728
公開番号（公開出願番号）：特開2003-332661
出願日： 2002年05月17日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：

【要約】【課題】 発振段レーザの積分スペクトル特性が所望のスペクトル線幅でなくても所望のスペクトル線幅を所望の高出力で得られる2ステージレーザシステム。【解決手段】 F2 を含むレーザガスが封入されたチャンバー1内に放電電極2を有し、レーザ共振器内に設置した狭帯域化モジュール3により狭帯域化されたレーザビームを放出する発振段レーザ装置10と、F2 を含むレーザガスが封入されたチャンバー1内に放電電極2を有し、発振段レーザ装置10から注入されるレーザパルスを増幅する増幅段レーザ装置20とからなる2ステージレーザシステムにおいて、発振段レーザ装置10からのレーザパルス内に所定のスペクトル線幅を有する同期期間が存在し、その同期期間内に増幅段レーザ装置20において放電が発生するように設定されている。

請求項（抜粋）：

F2 を含むレーザガスが封入されたレーザチャンバー内に放電電極を有し、レーザ共振器内に設置した波長選択素子を含む狭帯域化モジュールにより狭帯域化されたレーザビームを放出する発振段レーザ装置と、F2 を含むレーザガスが封入されたレーザチャンバー内に放電電極を有し、前記発振段レーザ装置から注入されるレーザパルスを増幅する増幅段レーザ装置とからなる2ステージレーザシステムにおいて、前記発振段レーザ装置からのレーザパルス内に所定のスペクトル線幅及び/又はスペクトル純度を有する同期期間が存在し、前記同期期間内に増幅段レーザ装置において放電が発生するように設定されていることを特徴とする2ステージレーザシステム。

Fターム (8件)：

5F072AA04 ,  5F072HH04 ,  5F072JJ04 ,  5F072JJ13 ,  5F072KK07 ,  5F072RR05 ,  5F072SS06 ,  5F072YY09