特許
J-GLOBAL ID:200903027492364542

超微細凍結粒子の製造装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 高田 守 (外2名) ,  大岩 増雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-052369
公開番号(公開出願番号):特開平5-144794
出願日: 1991年03月18日
公開日(公表日): 1993年06月11日
要約:
【要約】【目的】この発明は、10μm以下の超微細液滴を発生し、かつ、これを低速度で断熱容器に導入することを特徴とする。【構成】被凍結液タンク(13)より導入した被凍結液を、ドライガス導入管(15)からの圧さく空気との混合状態で二流体ノズル(12)から密閉容器(11)内に噴霧する。こうして密閉容器(11)内に浮遊する超微細液滴は導入管(17)を通り、低圧状態で断熱容器(18)に入り、冷媒により冷却され、超微細凍結粒子(19)が製造される。【効果】二流体ノズル(12)により均一な超微細液滴が得られるとともに、断熱容器(18)内での熱交換時間が増大する。
請求項(抜粋):
密閉容器と、この密閉容器内にドライガスとともに被凍結液を噴霧する二流体ノズルと、前記密閉容器内に発生浮遊する前記被凍結液の超微細液滴が導入され冷媒により超微細凍結粒子を生成する断熱容器とを備えてなる超微細凍結粒子の製造装置。
IPC (2件):
H01L 21/304 341 ,  B08B 7/02
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平3-025805

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