特許
J-GLOBAL ID：200903027492694275
ペリクル収納ケース
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中川 周吉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-342552
公開番号（公開出願番号）：特開2000-173887
出願日： 1998年12月02日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：
【要約】【課題】本発明に係るペリクル収納ケースは、運搬中にペリクル収納ケースが高温度にさらされた場合にも、ペリクル収納ケースのトレイやフタが反って、フタとトレイとの隙間からペリクル収納ケース内に異物が侵入してペリクル膜等に付着することを防止することができる収納ケースを目的としている。【解決手段】中央部に台状のペリクル搭載面2を有し、かつこのペリクル搭載面2の周りに複数の突起状のポスト3を有するペリクル収納ケースのトレイ1に於いて、前記ペリクル搭載面2にペリクル搭載面2の板厚の50%以上の高さを有するリブ4を設けて構成したペリクル収納ケースの構造である。
請求項（抜粋）：
枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フィルムからなるペリクルを、トレイとフタとよりなるケースに収納するペリクル収納ケースに於いて、トレイまたはフタの一方あるいは両方のペリクル搭載面にリブを設けて構成したことを特徴とするペリクル収納ケース。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 503 E
, B65D 85/38 R
3E096BA08
, 3E096CA06
, 3E096DA17
, 3E096DA23
, 3E096EA02X
, 3E096EA02Y
, 3E096FA03
, 3E096FA09
, 3E096FA20
, 3E096GA03
, 3E096GA07
, 5F046AA21
