特許
J-GLOBAL ID：200903027495781659
ガルバノスキャナ及びレーザ加工機
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-024160
公開番号（公開出願番号）：特開2004-233825
出願日： 2003年01月31日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：
【課題】ミラーを高速に位置決めすることができるガルバノスキャナおよび生産性に優れるレーザ加工機を提供すること。【解決手段】電磁揺動アクチュエータ部110を挟み一方の側にミラー部を、他方の側に角度検出器部を配置する場合、ミラー取付部104に保持させるミラー部(ミラーマウントとミラーとからなる)の慣性モーメントと、グレーティング円板121(角度検出器部)の慣性モーメントを比較し、ミラー部と角度検出部のうち慣性モーメントの大きい側から電磁揺動アクチュエータ部110に到る区間の軸径を他の区間の軸径よりも大径に形成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ミラー部と角度検出部と駆動トルク発生部とが直列に配置された軸を前記駆動トルク発生部の両側で回転自在に支持し、前記駆動トルク発生部で発生される駆動トルクにより前記ミラー部を回転方向に位置決めするようにしたガルバノスキャナにおいて、
前記駆動トルク発生部の一方に前記ミラー部を、他方に前記角度検出部を配置し、
前記ミラー部と前記角度検出部のうち慣性モーメントの大きい側から前記駆動トルク発生部に到る区間の軸径を他の区間の軸径よりも大径に形成することを特徴とするガルバノスキャナ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B26/10 104Z
, H02K33/18 C
2H045AB02
, 2H045AB10
, 2H045AB18
, 4E068CA09
, 4E068CB05
, 4E068CC00
, 4E068CD12
, 4E068CE03
, 5H633BB02
, 5H633BB15
, 5H633GG03
, 5H633GG06
, 5H633GG16
, 5H633HH02
, 5H633HH07
, 5H633HH09
, 5H633HH14
, 5H633JA02
, 5H633JA09
, 5H633JB05
