特許
J-GLOBAL ID：200903027501965597
表面層欠陥検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田中 隆秀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-207048
公開番号（公開出願番号）：特開平8-068760
出願日： 1994年08月31日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：
【要約】【目 的】 感光体ドラムや帯電ロールなどの円筒体表面の凹凸欠陥について欠陥の凹凸判別が可能な表面層欠陥検査装置を提供すること。【構 成】 円筒状の表面層を有する被検査体Rをその軸周りに回転させる被検査体支持装置U1と、被検査体Rの円筒状の表面層にその軸方向に沿うスリット検査光L1およびスポット検査光L2を照射する検査光照射装置3と、前記被検査体支持装置U1により回転される被検査体Rの前記表面層からの散乱反射光量を検出するラインセンサSとを備え、このラインセンサSの検出光量信号の基準光量信号に対する多少により前記表面層の欠陥を検出する表面層欠陥検出装置において、前記ラインセンサSは前記スリット検査光L1の前記被検査体R表面からの正反射光の方向に配置され、主走査方向FSに沿って検出光量の増減が現れる順序に応じて欠陥の凹凸を判定する欠陥種類判定手段が設けられている。
請求項（抜粋）：
円筒状の表面層を有する被検査体をその軸周りに回転させる被検査体支持装置と、被検査体の円筒状の表面層にその軸方向に沿うスリット検査光を照射するスリット検査光照射装置と、前記被検査体支持装置により回転される被検査体の前記表面層からの反射光量を検出するラインセンサとを備え、このラインセンサの検出光量信号の基準光量信号に対する多少により前記表面層の欠陥を検出する表面層欠陥検出装置において、下記の要件を備えたことを特徴とする表面層欠陥検出装置、(Y01) 前記被検査体の軸方向端部近傍から被検査体表面に沿って前記スリット状の検査光に重なるようにスポット状の検査光を照射するスポット検査光照射装置、(Y02) 前記ラインセンサは前記スリット状の検査光の前記被検査体表面からの正反射光の方向に配置されたこと、(Y03) 前記被検査体表面層に欠陥が存在する場合にその欠陥領域からの反射光の検出光量が主走査方向に沿って増減する順序に応じて定まる前記欠陥領域の凹凸状態を、前記検出光量の増減に対応づけて記憶した判定用データ記憶メモリ、(Y04) 前記ラインセンサの検出光量信号のデジタル信号を出力する手段、すなわち、デジタル信号出力手段、(Y05) 前記デジタル信号を欠陥判定用画像データとして記憶する画像メモリ、(Y06) 前記画像メモリに記憶された前記画像データが前記基準光量信号のデジタル信号に比較して増減している領域を欠陥領域として検出する欠陥領域検出手段、(Y07) 前記欠陥領域検出手段で検出された欠陥領域から反射した前記検査光の検出光量が主走査方向に沿って増減する順序を検出する増減順序判定手段、(Y08) 前記増減順序判定手段の出力信号と前記判定用データ記憶メモリに記憶されたデータとを用いて、前記欠陥領域検出手段で検出された欠陥領域の凹凸状態を判定する欠陥種類判定手段。
IPC (2件)：
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