特許

J-GLOBAL ID：200903027516163411

基板搬送装置

発明者： 芦川 英喜
出願人/特許権者： 株式会社小野測器
代理人 (1件)： 鎌田 久男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-348967
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168166
出願日： 1999年12月08日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】 薄い基板であっても、端部を擦ることなく、搬送することができ、また、反りの大きい基板や孔あき基板にも好適に使用可能であり、さらに、高速搬送可能で生産性のよい基板搬送装置を提供する。【解決手段】 薄板状の基板30を搬送する基板搬送装置であって、基板搬送方向と平行に、かつ、幅方向に、並べられ、基板30を、線接触又は複数点の点接触により積載する複数の基板積載部14aを備える。

請求項（抜粋）：

薄板状の基板を搬送する基板搬送装置であって、基板搬送方向と平行に、かつ、幅方向に、並べられ、前記基板を、線接触又は複数点の点接触により積載する複数の基板積載部を備えることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B65G 25/04 ,  B65G 49/05 ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 S ,  B65G 25/04 ,  B65G 49/05 ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 21/30 502 J

Fターム (13件)：

2H097DB03 ,  2H097DB07 ,  2H097DB11 ,  3F036AA06 ,  3F036BA03 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA15 ,  5F031GA51 ,  5F031MA27 ,  5F046CD01 ,  5F046CD06