特許

J-GLOBAL ID：200903027517175901

ポリマー

発明者： カール-ロレンツ メルテスドルフ ,  パルカル アルフレート ファルシグノ ,  ノルベルト ミュンツェル ,  ハンス-トーマス シャッハト
出願人/特許権者： オーシージー ミクロエレクトロニック マテリアルズインコーポレーテッド
代理人 (1件)： 萼 経夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-291710
公開番号（公開出願番号）：特開平8-227155
出願日： 1995年10月13日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：

【要約】【課題】 印刷板,印刷回路又は集積回路の製造のために適する新規ポリマーを提供する。【解決手段】 ゲル透過クロマトグラフィーによって測定された5.5×103〜105 の分子量(Mw )を有するポリマー、例えば保護基含有率63%及びヒドロキシル基含有率37%を有するポリ[4-(1-メトキシ-1-メチルエトキシ)スチレン/4-(1-メトキシ-1-メチルエトキシ)ビニルシクロヘキサン/4-ヒドロキシスチレン/4-ビニルシクロヘキサノール]。

請求項（抜粋）：

ポリマー鎖中に、次式IないしIV:【化1】〔式中、R1 及びR2 は、互いに独立して、各々直鎖状又は分岐鎖状の炭素原子数1ないし6のアルキル基、非置換又はメチル置換された炭素原子数3ないし6のシクロアルキル基、或いは非置換又は1個若しくはそれより多くのハロゲン原子又は1個若しくはそれより多くの炭素原子数1ないし4のアルコキシ基,シアノ基若しくはニトロ基により置換されたフェニル基又はナフチル基を表わし、R3 ,R4 ,R5 及びR6 は、互いに独立して、水素原子又はメチル基を表わし、R7 ,R8 ,R9 及びR10は、互いに独立して、水素原子、炭素原子数1ないし6のアルキル基、炭素原子数1ないし6のアルコキシ基又はハロゲン原子を表わし、w,x,y及びzは1よりも大きい又は1に等しい数を表わし、そして、この場合、保護基を含む構造単位の総数を存在する全ての構造単位の総数で割ることにより得られる以下の商Q:【数1】は0.5よりも大きく且つ最大で0.9である〕で表わされる反復構造単位を含む、ゲル透過クロマトグラフィーによって測定された5.5×103 ないし5.5×105 の分子量(Mw )を有するポリマー。

IPC (3件)：

G03F 7/039 ,  C08F212/14 MJY ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 ,  C08F212/14 MJY ,  H01L 21/30 502 R