特許
J-GLOBAL ID：200903027523814282
洗浄排液再生方法、洗浄排液再生装置、洗浄方法、および洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-288580
公開番号（公開出願番号）：特開平6-134444
出願日： 1992年10月27日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：
【要約】【目的】 高負荷、高濃度の洗浄排液を希釈することなく、安定にかつ効率よく処理、再生することを可能にすると共に、すすぎ液の有効利用を図った洗浄方法を提供する。【構成】 すすぎ液32が被洗浄物2の移送方向と逆方向に順に送られるように連結された多槽連結式すすぎ槽31を用いる。多槽連結式すすぎ槽31の最下流側に位置するすすぎ槽31cから排出される洗浄排液50を減圧蒸留し、得られる凝縮液54を最上流側に位置するすすぎ槽31aに循環供給する。減圧蒸留は、シリコーン系消泡剤やシリコーン系消泡成分の存在下で行う。あるいは、洗浄排液を加熱した壁面に沿って流下させ、洗浄排液の薄膜を形成しつつ減圧蒸留を行う。
請求項（抜粋）：
被洗浄物に付着する汚れ成分を洗浄剤により除去する洗浄工程、および前記被洗浄物に付着する前記洗浄剤成分をすすぎ液により除去するすすぎ工程の少なくとも一方から排出される洗浄排液を再生するにあたり、前記洗浄排液を、シリコーン系消泡剤を用いて減圧蒸留すると共に、得られる凝縮液を前記すすぎ工程に循環供給することを特徴とする洗浄排液再生方法。
IPC (4件)：
C02F 1/04 ZAB
, C11D 3/37
, C23G 5/00
, B08B 3/14
