特許

J-GLOBAL ID：200903027526711484

ステージ装置および露光装置

発明者： 高岩 宏明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-128984
公開番号（公開出願番号）：特開2003-324053
出願日： 2002年04月30日
公開日（公表日）： 2003年11月14日
要約：

【要約】【課題】 移動テーブルが力を受けて変形した場合でもホルダとの間でずれを生じさせない。【解決手段】 基板Wを保持するホルダWHと、ホルダWHを支持して移動する移動テーブルTBとを有する。ホルダWHと移動テーブルTBとの間に、弾性ヒンジ部7を有する支持板5を介装する。

請求項（抜粋）：

基板を保持するホルダと、該ホルダを支持して移動する移動テーブルとを有するステージ装置であって、前記ホルダと前記移動テーブルとの間には、弾性ヒンジ部を有する支持板が介装されていることを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

G03F 7/22 H ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 515 G

Fターム (29件)：

5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA13 ,  5F031HA53 ,  5F031HA55 ,  5F031JA02 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA27 ,  5F031JA28 ,  5F031JA30 ,  5F031JA32 ,  5F031JA38 ,  5F031KA05 ,  5F031KA20 ,  5F031LA03 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031PA14 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC08 ,  5F046CC10 ,  5F046CC11 ,  5F046DA08