特許
J-GLOBAL ID：200903027533469168
光学式表面検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原田 信市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-103017
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295235
出願日： 1998年04月14日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：
【要約】【課題】 物体表面に対する光の照射範囲と撮像領域とに厳密な位置合わせが不要であるとともに、画像取り込み位置や範囲を任意に調整して所望の画像解析を高精度に実現でき、しかも物体表面への光の照射条件を任意に調整できる光学式表面検査装置を提供する。【解決手段】 ライン状ライトガイド5の出射口部18(光ファイバアレイ先端)からの光を、ワークテーブル6上に搭載されて水平移動する検査対象物の表面に向かって、任意に設定した傾斜角度で照射し、その表面を移動方向とは直交する方向にライン状に照明する。そのライン状照明領域を含むようにエリアCCDカラーカメラ4で撮像する。その画像中からライン状照明領域の画像部分のみを実質的に取り込むようにマスク処理して画像処理装置27で解析する。
請求項（抜粋）：
検査対象物を搭載するワークテーブルと、このワークテーブルをレールに沿って摺動させるテーブル摺動装置と、光源からの光を光ファイバアレイに導入し、光ファイバアレイ先端から前記ワークテーブルに向かってその摺動方向と交差する方向にライン状に広がる照射光として斜めに照射するライン状ライトガイドと、その照射光によるライン状照明領域を含むように前記ワークテーブル上の検査対象物を上方からエリアセンサで撮像するカメラと、該カメラが撮像した画像中から前記ライン状照明領域の画像部分のみを実質的に取り込むようにマスク処理して画像解析する画像処理装置とを備えたことを特徴とする光学式表面検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 Z
, G01B 11/00 H
