特許
J-GLOBAL ID：200903027534868619
圧電ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-330737
公開番号（公開出願番号）：特開平9-169110
出願日： 1995年12月19日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：
【要約】【課題】鉛を含有するポンプ本体からなる圧電ポンプでは、破壊靭性値が低く取り扱い時に破損し易いという問題があった。【解決手段】内部に流体の流通通路を有するポンプ本体と、ポンプ本体の表面に形成された圧電振動体とからなる圧電ポンプであって、ポンプ本体が、少なくとも鉛を含有する圧電セラミックスからなる主成分と、Si3 N4 、SiCのうちの少なくとも一種の添加成分とからなり、添加成分を主成分100重量部に対して0.5〜5.0重量部添加含有してなるものである。ここで、圧電振動体が少なくとも鉛を含有する圧電セラミックスを一対の電極で挟持してなるものである。また、ポンプ本体の流通通路の内壁面に鉛拡散防止層を形成してなるものである。
請求項（抜粋）：
内部に流体の流通通路を有するポンプ本体と、該ポンプ本体の表面に形成された圧電振動体とからなる圧電ポンプであって、前記ポンプ本体が、少なくとも鉛を含有する圧電セラミックスからなる主成分と、Si3 N4 、SiCのうちの少なくとも一種の添加成分とからなり、該添加成分を前記主成分100重量部に対して0.5〜5.0重量部添加含有してなることを特徴とする圧電ポンプ。
IPC (2件)：
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