特許

J-GLOBAL ID：200903027550703387

薄板傾動装置

発明者： 宮向 英明 ,  真島 志郎 ,  大島 泰毅
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 高 雄次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-040432
公開番号（公開出願番号）：特開平7-229837
出願日： 1994年02月15日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】【目的】 操作性を格段に向上し得る薄板傾動装置を提供する。【構成】 薄板Wを保持するチャック26と、チャックをこれに保持される薄板の中心回りに回転可能に支持する回転軸27と、回転軸の外周に回転自在に嵌装され、球形のジャーナル28がチャック側の一端部に形成された傾動軸29と、傾動軸の他端部に連設され、回転軸を駆動するモータ31と、ジャーナルをステージケーシング12に支承する球面軸受33と、ステージケーシングに取り付けられ、傾動軸を所要範囲で傾動可能となす2軸ジンバル37と、2軸ジンバルのジンバルアーム35を個別に傾動駆動するモータ41とを備えることにより、2自由度の傾斜を可能とする。

請求項（抜粋）：

薄板を保持するチャックと、チャックをこれに保持される薄板の中心回りに回転可能に支持する回転軸と、回転軸の外周に回転自在に嵌装され、球形のジャーナルがチャック側の一端部に形成された傾動軸と、傾動軸の他端部に連設され、前記回転軸を駆動するモータと、前記ジャーナルをステージケーシングに支承する球面軸受と、ステージケーシングに取り付けられ、前記傾動軸を所要範囲で傾動可能となす2軸ジンバルと、2軸ジンバルの各ジンバルアームを個別に傾動駆動するモータとを備えることを特徴とする薄板傾動装置。

IPC (6件)：

G01N 21/84 ,  G01B 5/00 ,  G12B 9/08 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68