特許
J-GLOBAL ID:200903027551160336
固体撮像装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐藤 隆久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-223634
公開番号(公開出願番号):特開2006-049338
出願日: 2004年07月30日
公開日(公表日): 2006年02月16日
要約:
【課題】特に裏面照射型の固体撮像装置に採用することが有効であり、フォトダイオードの面積を制限することなく、フォトダイオード中の余剰電荷を排出する構造を有する固体撮像装置を提供する。【解決手段】p型の半導体基板30には、n型のフォトダイオード21が形成されている。半導体基板30の第1面上には、転送トランジスタ22のゲート電極31や、増幅トランジスタ23のゲート電極32が形成されている。さらに、フォトダイオード21と平面的に重なりをもって、フォトダイオード21よりも第1面側に、n型のフローティングディフュージョン33と、ゲート電極32のn型のドレイン領域34およびn型のソース領域35が形成されている。フローティングディフュージョン33と、フォトダイオード21との間には、p型のオーバーフローバリア領域36が形成されている。【選択図】図4
請求項(抜粋):
基板に形成され、入射光量に応じた電荷を発生し、当該発生した電荷を蓄積するフォトダイオードと、
前記基板の第1面側に形成され、前記フォトダイオードで蓄積された電荷を読み出すトランジスタと、
前記フォトダイオードと平面的に重なりをもって形成され、前記フォトダイオードと間隔を隔てて前記基板の第1面側に形成されたオーバーフロードレイン領域と、
前記フォトダイオードと前記オーバーフロードレイン領域との間に形成され、前記フォトダイオード中の余剰電荷を前記オーバーフロードレイン領域へ排出し得る電位障壁をもつオーバーフローバリア領域と
を有する固体撮像装置。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L27/14 A
, H04N5/335 E
Fターム (17件):
4M118AA05
, 4M118AB01
, 4M118BA14
, 4M118CA03
, 4M118DD04
, 4M118FA06
, 4M118FA16
, 4M118FA19
, 4M118GB03
, 4M118GB11
, 4M118GC07
, 4M118GD04
, 4M118GD07
, 5C024CX12
, 5C024GX03
, 5C024GY31
, 5C024GZ03
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)