特許
J-GLOBAL ID：200903027570629639
液体管理装置及び方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-265127
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097849
出願日： 1998年09月18日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：
【要約】【課題】 エッチング液のような経時変化が光学特性の変化として現れる液体の変化程度を、容易に数値データとして把握し、無駄のない運転を可能とする。【解決手段】 液体収容部材21に、表面プラズモン共鳴を利用したトランスデューサ40と熱電対50を備え、演算手段CPUによりトランスデューサからの情報に基づきエッチング液30の共振角(共鳴角度最小点)を演算し、かつ、温度補償を行い、それにより、エッチング液30の劣化(経時変化)程度を推定する。
請求項（抜粋）：
経時変化が光学特性の変化として現れる液体の管理装置であって、当該液体を収容する収容部材と、該収容部材に金属薄膜が液体に接する状態で取り付けられた表面プラズモン共鳴を利用したトランスデューサと、該トランスデューサからの情報に基づき当該液体の共振角を演算する手段と、該演算値を基準値と比較する手段と、該比較結果を表示する手段とを少なくとも備えることを特徴とする液体の管理装置。
Fターム (16件)：
2G059AA02
, 2G059AA05
, 2G059BB04
, 2G059DD12
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059EE20
, 2G059FF04
, 2G059GG02
, 2G059JJ12
, 2G059KK01
, 2G059MM04
, 2G059MM05
, 2G059NN02
, 2G059NN10
, 2G059PP04
