特許
J-GLOBAL ID：200903027575836888

水系現像が可能な感光性樹脂組成物および感光性ドライフィルムレジスト、並びにその利用

発明者：
高河原 薫

高河原 薫 について

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岡田 好史

岡田 好史 について

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山中 俊夫

山中 俊夫 について

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滝口 友輝

滝口 友輝 について


出願人/特許権者：
鐘淵化学工業株式会社

鐘淵化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-110359
公開番号（公開出願番号）：特開2004-317725
出願日： 2003年04月15日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：
【課題】水系現像が可能で、良好なパターンが得られ、かつ耐熱性や電気絶縁性に優れた感光性樹脂組成物および感光性ドライフィルムレジストを提供する。【解決手段】ベースポリマーとして、構造中に水酸基を含有するポリイミド樹脂またはポリアミド樹脂を用いるとともに、アクリル化合物、メタクリル化合物、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート、イミドアクリレートからなる群より選ばれる少なくとも1種の(メタ)アクリル系化合物を用いる。これら各成分を必須成分とすることにより、水系現像が可能な感光性樹脂組成物および感光性ドライフィルムレジストを得ることができる。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
必須成分として(A)ベースポリマーおよび(B)(メタ)アクリル系化合物を含んでおり、 上記(A)ベースポリマーが、構造中に水酸基を含有するポリイミド樹脂またはポリアミド樹脂であるとともに、 上記(B)(メタ)アクリル系化合物が、アクリル化合物、メタクリル化合物、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート、イミドアクリレートからなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/11
FI (4件)：
G03F7/027 514 ,  G03F7/027 513 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/11 501
Fターム (17件)：
2H025AA04 ,  2H025AB11 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC66 ,  2H025BC67 ,  2H025BC74 ,  2H025BC83 ,  2H025CB25 ,  2H025CB45 ,  2H025CB51 ,  2H025CB55 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025DA03 ,  2H025FA17
引用特許：
審査官引用 (3件)

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