特許
J-GLOBAL ID：200903027580119809
研磨材の回収装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-189347
公開番号（公開出願番号）：特開2001-009723
出願日： 1999年07月02日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：
【要約】【課題】 回収工程での研磨材粒子同士や研磨材粒子と研磨屑等との凝集粗大化を防止して、容易かつ効率的な研磨材の回収を行う。【解決手段】 研磨工程排水を濃縮処理する濃縮手段3と、濃縮手段の前段又は後段に超音波照射手段2を備えてなる研磨材の回収装置。
請求項（抜粋）：
研磨工程排水から研磨材を回収する装置において、該研磨工程排水を濃縮処理する濃縮手段と、該濃縮手段の前段又は後段に設けられた超音波照射手段とを備えてなることを特徴とする研磨材の回収装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
3C047GG14
, 3C047GG17
, 4D037AA13
, 4D037AB02
, 4D037AB11
, 4D037BA26
, 4D037BA28
, 4D037CA03
