特許

J-GLOBAL ID：200903027588793630

重イオンビームの高速の磁気走査

発明者： グラビッシュ, ヒルトン, エフ. ,  グエラ,マイケル,エー. ,  河合 禎 ,  内藤 勝男 ,  長井 宣夫
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-502238
公開番号（公開出願番号）：特表平10-507029
出願日： 1995年06月02日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：

【要約】選ばれた表面上にイオンビームを走査させる磁気偏向システムであって、イオンビームを走査するため時間の関数として極性を交代させる間隙において、走査コイルに対して、略単極の振動磁界を生じさせるための励起電流を供給するように構成された走査コイルに結合された一次電源、この場合、前記略単極の磁界はイオンビームが選ばれた表面上を走査している間に、イオンビームの横断面の大きさが実質的に変動しないようにゼロよりも充分大きなマグニチュードを有している、とを具備するイオンビーム走査のための磁気偏向システム。

請求項（抜粋）：

選ばれた表面上でイオンビームを走査するため少なくとも20Hzの基本周波数で変調した強力な磁界を作るための磁気偏向システムであって、該システムは、 間にイオンビームが通る間隙を定める磁極面をそれぞれ有する複数の磁極を備えた磁気走査構造体、この場合、前記磁気走査構造体は、少なくとも部分的にはそれぞれ約0.2〜1.0mmの範囲の厚さの高い透磁性材料でできた積層体、該積層体の各層は、比較的薄い電気的絶縁層によって仕切られており、該積層体は基本周波数に対して低い磁気抵抗の磁気透過路と前記強力な磁界の高次の高調波成分を有し、該積層体は各層に局所的に誘起される渦電流を限定した値に抑える働きをしている、と、 前記磁気走査構造体と関連し走査電流源で励起された走査コイル、この場合、前記走査電流源は、少なくとも20Hzの速度でイオンビームを走査させる時間の関数として予め選んだ最小値以上のマグニチュードで変化する実質的に単極の走査磁界を前記間隙に発生させる励起電流を走査コイルに供給するために選ばれており、前記最小値はイオンビームが選ばれた表面上で走査されている間、イオンビームの横断面の大きさが実質的に変動しないようにゼロよりも充分に大きな値である、走査コイルと、を具備する磁気偏向システム。

IPC (3件)：

H01J 37/317 ,  H01J 37/147 ,  H01L 21/265

FI (3件)：

H01J 37/317 A ,  H01J 37/147 D ,  H01L 21/265 603 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-195841
  
• 特開昭63-086340