特許
J-GLOBAL ID:200903027591359283
ハイブリッド光デバイスの組み立て方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
川口 義雄 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-042362
公開番号(公開出願番号):特開平10-274729
出願日: 1998年02月24日
公開日(公表日): 1998年10月13日
要約:
【要約】【課題】 能動部品が放出する熱を散逸させ、能動部品の光軸を受動部品の光ガイドとアライメントすることができる、ハイブリッド光デバイスの組み立て方法を提供する。【解決手段】 本発明は、能動部品に光学的に結合されシリカ基板上のシリカ層内に作製された受動部品を含み、前記層および基板がこのようにしてシリカオンシリカ構造を形成するハイブリッド光デバイスの組み立て方法に関する。この方法は、良好な熱伝導性および能動部品の熱膨張率と類似の熱膨張率を有する中間エレメントを作製すること、能動部品を中間エレメント上に固定すること、および能動部品が空洞の内部に存在し受動部品に光学的に結合されるように、シリカオンシリカ構造内に空洞を形成し、この構造上に中間エレメントを固定することからなることを特徴とする。
請求項(抜粋):
能動部品(2)に光学的に結合されシリカ基板(3)上のシリカ層(6、7、8)内に作製される受動部品(1)を含み、前記層および基板がこのようにしてシリカオンシリカ構造(100)を形成するハイブリッド光デバイスの組み立て方法であって、良好な熱伝導性、および能動部品(2)の熱膨張率と類似の熱膨張率を有する中間エレメント(4)を作製すること、能動部品(2)を中間エレメント(4)上に固定すること、および能動部品(2)が空洞(5)の内部に存在し受動部品(1)に光学的に結合されるように、シリカオンシリカ構造(100)内に空洞(5)を形成し、この構造(100)上に中間エレメント(4)を固定することからなることを特徴とする方法。
IPC (3件):
G02B 6/42
, G02B 6/122
, H01S 3/18
FI (3件):
G02B 6/42
, H01S 3/18
, G02B 6/12 B
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