特許

J-GLOBAL ID：200903027591596498

蒸気ドレーン装置

発明者： ロバート ジェフェリー ベイスマン ,  チャールズ アラン ブラウン ,  ベンジャミン ナイルス エルドリッジ ,  ローラ ベス ロットマン ,  ハーマン ラッセル ウェンド ,  ジェイムス チャンーチェン イエ ,  アーサー アール ジンガー
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-014959
公開番号（公開出願番号）：特開平7-094577
出願日： 1994年01月14日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：

【要約】【目的】 ウエハ匡体のための蒸気ドレーン装置を提供する。【構成】 ウエハ製作間、標準製造インタフェース(SMIF)ポッドのような移動可能匡体は、製造、保管または運送中の汚染からウエハを保護する。しかし、ポッド内で発生した化学蒸気は、空気中に蓄積し以降の製作間にウエハを劣化させる。閉じられたポッド内の蒸気を吸収するために、微粒子濾過蒸気透過バリヤおよび穴のある保護板で覆われた活性炭吸収層を含む蒸気除去素子が、匡体内に置かれる。蒸気除去素子を、各ウエハに隣接して配置することもできる。送風機または熱浮力循環は、匡体内の蒸気を蒸気除去素子に追いやる。多孔性蒸気除去素子は、匡体に入ってくる空気から蒸気を除去するために付着される。また、蒸気除去素子を各ウエハの後部表面に一体化することもできる。

請求項（抜粋）：

蒸気に敏感な製品を保持する匡体と、該匡体内の源から発生する汚染蒸気を除去するために該匡体内に置かれた蒸気除去素子手段とを備え、該蒸気除去素子の蒸気コンダクタンスが該汚染蒸気源の蒸気コンダクタンスを上回るようにした蒸気ドレーン装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86