特許

J-GLOBAL ID：200903027593539742

液滴吐出装置、液滴吐出方法、薄膜形成方法、及び電気光学装置

発明者： 小松 孝一郎
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-159719
公開番号（公開出願番号）：特開2004-358353
出願日： 2003年06月04日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：

【課題】従来のインクジェット装置のノズルは、膜や配線を形成させるために必要な箇所に吐出することのみを行なうことから、ムラや断線を修復できなかった。【解決手段】本発明に係る液滴吐出装置は、媒体を移動させるための送り機構と、送り機構により送られた媒体に液滴を吐出するための第一のノズルと、第一のノズルによる液滴の吐出が不良となった媒体上の箇所である吐出不良箇所を検出する検出部と、検出部が吐出不良箇所を検出した場合に、吐出不良箇所に液滴を吐出する第二のノズルを有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

媒体と、 前記媒体に対して相対移動するとともに該媒体に向けて液滴を吐出する第一のノズルと、 前記媒体上の塗布不良箇所を検出する検出部と、 前記検出部が前記塗布不良箇所を検出した場合に、当該塗布不良箇所に液滴を吐出する第二のノズルとを有することを特徴とする液滴吐出装置。

IPC (6件)：

B05C5/00 ,  B05D7/00 ,  G02B5/20 ,  H01J9/227 ,  H01J11/02 ,  H01L21/027

FI (6件)：

B05C5/00 101 ,  B05D7/00 H ,  G02B5/20 101 ,  H01J9/227 E ,  H01J11/02 B ,  H01L21/30 564Z

Fターム (40件)：

2H048BA02 ,  2H048BA64 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC88 ,  4D075AC91 ,  4D075AC93 ,  4D075AE04 ,  4D075CA13 ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DA27 ,  4D075DB01 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DB31 ,  4D075DC19 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA38 ,  5C028FF04 ,  5C028FF16 ,  5C040FA10 ,  5C040GG09 ,  5C040GG10 ,  5C040JA13 ,  5C040MA23 ,  5C040MA24 ,  5F046AA28 ,  5F046JA01 ,  5F046JA02