特許
J-GLOBAL ID：200903027596750908
ノッチ・フィルタ及び目標イオンの除去方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上野 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-315845
公開番号（公開出願番号）：特開平9-180672
出願日： 1996年11月27日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】分離結合網を必要としない、高性能四重極ノッチ・フィルタを提供する。【解決手段】 対間で互いに逆極性で、対内の振動電位が等しい2対の平行電極を備えている四重極と、該四重極に、rf四重極周波数成分と除去周波数成分を重畳して含む振動電位を発生する電源を含む。rf四重極周波成分によって選択された質量/電荷比を超えるイオンが、四重極を透過し、除去周波数成分によって、目標イオンがイオン・ビームから除去される。
請求項（抜粋）：
イオン・ビームから特定の質量/電荷比を備えた目標イオンを選択的に除去するためのノッチ・フィルタにおいて、(a)入口端部と出口端部を備え、入口端部から出口端部にイオン・ビームを送ることが可能であり、四重極の電界を生じるように振動電位が互いに逆極性で、各対の振動電位が等しい2対の平行電極を備えている、四重極と、(b)四重極の振動電位を発生するために、四重極に電気的に接続されており、rf四重極周波数(Ω)成分と除去周波数(ω)成分を含む重畳振動電位を発生して、rf四重極周波数成分(Ω)によって、イオン・ビーム内の選択された質量/電荷比を超えるイオンが、四重極に沿って、入口端部から出口端部に案内され、除去周波数(ω)成分によって、目標イオンが共振し、四重極を出る前に、イオン・ビームから除去されるようにする、電源を含む、ノッチ・フィルタ。
IPC (3件)：
H01J 49/06
, G01N 27/62
, H01J 49/42
H01J 49/06
, G01N 27/62 L
, H01J 49/42
