特許
J-GLOBAL ID：200903027597033835
ペースト塗布機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-001581
公開番号（公開出願番号）：特開平5-185005
出願日： 1992年01月08日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：
【要約】【目的】 ノズルから吐出されるペーストで基板上に形成されるパターンの斜傾直線部分が、所望の形状で、かつパターンの縦横直線部分とほぼ同じ断面形状となるようにする。【構成】 Z軸テーブル部4が駆動され、ノズル1の先端が描かれるペーストパターンの厚みだけ基板7よりも上方に位置固定される。次に、X軸テーブル部5とY軸テーブル部6とが駆動され、基板7がX,Y平面上を移動する。ノズル1からは単位時間当たり一定の吐出量でペースト12が基板7上に吐出され、ペーストのパターンが描かれる。このとき、基板7の移動方向の拘らず、ノズル1の先端と基板7との相対的移動量または相対的移動速度が一定に保持される。従って、パターンの斜傾直線部分もパターンの縦横直線部分と同様な状態でペーストが塗布され、これらの断面形状がほぼ同等となる。
請求項（抜粋）：
基板が載置されたテーブルとノズルを相対的に移動させ、該ノズルからペーストを吐出させて該基板上に所定のパターンでペーストを塗布するペースト塗布機において、該基板と該ノズルの先端との間隔が該基板上に塗布されるペーストの厚さにほぼ等しいように該ノズルが設置されており、単位時間当りの該ノズルのペースト吐出量を一定に保つ第1の手段と、ペーストを該基板の縦あるいは横方向に直線状に塗布する部分と該縦あるいは横方向に対して斜めの方向に直線状に塗布する部分とでほぼ一致するように、該ノズルと該基板との単位時間当りの相対的移動量を設定する第2の手段とを設けたことを特徴とするペースト塗布機。
IPC (2件)：
B05C 5/00 101
, G02F 1/1339 505
