特許
J-GLOBAL ID：200903027599588826
フィルム巻取装置およびフィルム巻取方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-138130
公開番号（公開出願番号）：特開2000-327186
出願日： 1999年05月19日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：
【要約】【課題】 真空下において、原反ロールの交換、接続、巻取コアの交換、およびフィルムを切断し、交換された巻取コアへの巻き取りを自動的に行い得るフィルム巻取装置およびフィルム巻取方法を提供すること。【解決手段】 薄膜形成装置の真空槽11のシ-ル可能はスリット13を備えた隔壁12によって成膜室31と画成された巻出・巻取室21内において原反ロール24をセットした巻出ターレット22を旋回させて原反ロール24を交換し、フィルム接続装置27で接続して成膜室31のメインロール32に接して戻るフィルムを巻取ターレット42にセットされた粘着性ゴムライニングコアである巻取コア47にニップロール27で押さえ、その下流側をフィルム切断装置28で切断して巻取コア47に巻き取る。
請求項（抜粋）：
フィルムへの薄膜の形成またはフィルム上の薄膜のエッチング等のフィルム処理を行うための真空槽内のフィルム巻取装置において、フィルムを巻き取る巻取コアに粘着性ゴムライニングコアまたはバイアス電圧を印加したコアが使用されていることを特徴とするフィルム巻取装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65H 19/28 Z
, C23C 14/56 B
3F064AA03
, 3F064BA02
, 3F064CA02
, 3F064CB10
, 3F064DA01
, 3F064FA04
, 4K029AA11
, 4K029AA25
, 4K029KA00
