特許
J-GLOBAL ID：200903027603939647
処理システム
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-165108
公開番号（公開出願番号）：特開平6-349931
出願日： 1993年06月10日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、搬送室にゲートバルブを介し処理室を容易に増設又は減設でき、処理室のレイアウトをそれぞれ任意に行なえる処理システムを提供することにある。【構成】 気密に構成されるとともに減圧雰囲気に維持される直線状の搬送室5と、この搬送室5内に設けられ前記搬送室5の長手方向に自在に移動可能な搬送手段28と、この搬送手段28に具備され、回転および伸縮可能に構成されたアーム29と、このアーム29に設けられ被処理体Wを保持する保持部30と、前記搬送室5の前記長手方向に設けられた複数のゲートバルブGと、これらの各ゲートバルブGを介して設けられた前記被処理体Wを処理する複数の処理室8とを具備したことを特徴とする処理システム1。
請求項（抜粋）：
気密に構成されるとともに減圧雰囲気に維持される直線状の搬送室と、この搬送室内に設けられ前記搬送室の長手方向に自在に移動可能な搬送手段と、この搬送手段に具備され、回転および伸縮可能に構成されたアームと、このアームに設けられ被処理体を保持する保持部と、前記搬送室の前記長手方向に設けられた複数のゲートバルブと、これらの各ゲートバルブを介して設けられた前記被処理体を処理する複数の処理室とを具備したことを特徴とする処理システム。
IPC (2件)：
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