共焦点顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永井冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-277734
公開番号（公開出願番号）：特開2006-091507
出願日： 2004年09月24日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：

【課題】本発明は、簡単な構成でセクショニング分解能を高めた共焦点顕微鏡を提供する。【解決手段】共焦点顕微鏡は、光源1からの光を試料12上に集光する第1の集光レンズ4と、1つのピンホール15を有するピンホール部材6と、試料12からの光をピンホール15に集光する第2の集光レンズ5と、回転軸14を中心にこの回転軸14に対してそれぞれ異なる角度をなす複数の鏡面3a、3b、3c、3dを有するポリゴンミラー3と、光源1からの光をポリゴンミラー3へ導き、ポリゴンミラー3から導かれてくる試料12からの光を第2の集光レンズ5へ導くビームスプリッタ2と、ピンホール15に集光した光を検出する光検出ユニット7と、光検出ユニット7により検出された光とポリゴンミラー3の回転に対応した信号に基づき、試料12の2次元像を生成する制御装置9とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源からの入射光を試料上に集光する第1の集光手段と、ピンホールを有するピンホール手段と、前記試料からの戻り光を前記ピンホールに集光する第2の集光手段とを備えた共焦点顕微鏡において、回転軸に対してそれぞれ異なる角度をなす複数の鏡面をこの回転軸を中心に1周するように形成され、前記第1の集光手段と前記ピンホール手段との間の光路中に配置するポリゴンミラー手段と、前記光源からの入射光と前記試料からの戻り光を分離し、前記ポリゴンミラー手段から導かれてくる前記試料からの戻り光を前記ピンホール手段へ導く第1の光学手段とをさらに備え、前記ポリゴンミラー手段は、前記回転軸を中心に一定速度で回転し、この回転に伴い、前記光源からの入射光を前記複数の鏡面で順次反射して前記第1の集光手段へ導き、前記第1の集光手段により前記試料上に集光する光を前記試料上で2次元的にスキャンさせ、前記第1の集光手段は、前記試料からの戻り光を前記ポリゴンミラー手段に導き、前記ポリゴンミラー手段は、前記第1の集光手段から導かれた前記試料からの戻り光を、前記光源からの入射光を反射した鏡面と同一の鏡面でデスキャンして前記第2の集光手段へ導くことを特徴とする共焦点顕微鏡。

IPC (1件)：

G02B 21/06

FI (1件)：

G02B21/06

Fターム (8件)：

2H052AA08 , 2H052AC04 , 2H052AC15 , 2H052AC27 , 2H052AC29 , 2H052AC34 , 2H052AD31 , 2H052AF06

引用特許：

出願人引用 (2件)

特許第2663780号公報
ポリゴンミラー
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-223605 出願人：株式会社小松製作所

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