特許
J-GLOBAL ID：200903027610694196
制御装置、温度調節器および熱処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-215061
公開番号（公開出願番号）：特開2000-187514
出願日： 1999年07月29日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：
【要約】【課題】干渉のある制御対象の制御において、干渉を低減するとともに、オートチューニングを正しく実行できるようにして制御パラメータの設定を可能とする。【解決手段】個別的に対応する複数のヒータおよび複数の温度センサを備えるとともに、複数のPID制御手段61〜6nを備え、平均温度・傾斜温度算出手段5で複数の温度センサの検出温度の平均温度および検出温度に基づく傾斜温度を算出し、各PID制御手段61〜6nは、それぞれ平均温度または各傾斜温度が目標値になるように操作信号を出力し、配分手段7によって、各PID制御手段61〜6nによる制御が、他のPID制御手段の制御に影響を与えないように、各ヒータに各PID制御手段61〜6nからの操作信号を配分するようにしている。
請求項（抜粋）：
制御対象の物理状態をそれぞれ検出する複数の検出手段からの情報を、前記物理状態の勾配を示す情報に変換するとともに、物理状態の代表状態を示す情報に変換する変換手段と、前記変換手段からの各情報が個別的に与えられる複数の状態制御手段と、前記各状態制御手段からの操作信号を、複数の操作手段に、各状態制御手段による制御が、他の状態制御手段による制御に与える影響をなくす又は小さくするように配分する配分手段と、を備えることを特徴とする制御装置。
IPC (4件)：
G05D 23/19
, G05B 11/32
, H01L 21/22
, H05B 3/00 310
G05D 23/19 G
, G05B 11/32 A
, H01L 21/22 Z
, H05B 3/00 310 C
