特許

J-GLOBAL ID：200903027614045320

ラッピング装置

発明者： 川島 弘至 ,  山本 武士
出願人/特許権者： 川島 弘至 ,  山本 武士
代理人 (1件)： 加藤 恭介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-051116
公開番号（公開出願番号）：特開平7-237119
出願日： 1994年02月25日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：

【要約】【目 的】 インターナルギアおよびアウターギアが安価であると共に、ラッピングキャリアの交換、あるいは被加工物の取り出しを容易に行なう。【構 成】 板状インターナルギアは、インターナルギア側上部ガイドと同心的に駆動軸に固定され、この駆動軸の回転によってラッピングキャリアを回転させる。板状インターナルギア側上部ガイドは、前記インターナルギアと同心的に回転し、前記ラッピングキャリアとの噛み合いを案内すると共に、インターナルギアとの大きさ関係が正に転位されている。板状アウターギアは、前記インターナルギアと共にラッピングキャリアを自転させながら公転させる。そして、板状アウターギア側上部ガイドは、前記板状アウターギアと同心的で、前記ラッピングキャリアの歯車とアウターギアとの噛み合いを案内する。

請求項（抜粋）：

内部に被加工物を挿入する透孔と、外周部に成形された歯車とからなるラッピングキャリアを、研磨剤を流入させながら定盤上で自転させながら公転させることによって、被加工物を研磨するラッピング装置において、駆動軸の回転によってラッピングキャリアを回転させる板状インターナルギアと、前記駆動軸に前記インターナルギアと同心的に固定され、前記インターナルギアの歯車との噛み合いを案内すると共に、インターナルギアとの大きさ関係が正に転位されている板状インターナルギア側上部ガイドと、前記インターナルギアと共にラッピングキャリアを自転させながら公転させる板状アウターギアと、を備えたことを特徴とするラッピング装置。