特許
J-GLOBAL ID：200903027616482603
表面検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-297896
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178668
出願日： 1996年10月23日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】鋼板表面にある模様状疵や凹凸状の疵をオンラインで連続的に検出して、その種別や程度を弁別することは困難であった。【解決手段】3組のリニアアレイセンサ10a〜10cで鋼板4からの反射光の異なる偏光を測定する。信号処理部13は測定した偏光画像から疵候補領域を抽出する。抽出した疵候補領域内における平均光強度から疵候補領域のエリプソパラメ-タtanΨ,cosΔの代表値と表面反射強度の代表値を算出し、算出したエリプソパラメ-タと表面反射強度が正常部よりプラス領域かマイナス領域かを示す極性と変化量及び疵の形状の特徴量から疵の種類と等級を判定する。
請求項（抜粋）：
投光部と受光部と信号処理部とを有し、投光部は被検査面の幅方向全体にわたり偏光光束を入射し、受光部は被検査面からの反射光から異なる3つの偏光成分を抽出して画像信号に変換し、信号処理部は疵候補領域抽出部と特徴量演算部とパラメ-タ演算部及び疵判定部とを有し、疵候補領域抽出部は上記3種類の偏光画像の濃度レベルと基準濃度レベルとを比較して、測定した偏光画像の濃度レベルが地肌レベルに相当する基準濃度レベルの範囲外となる領域を疵候補領域として抽出し、特徴量演算部は抽出した疵候補領域内における測定光強度の平均値を算出し、パラメ-タ演算部は算出した平均光強度からエリプソパラメ-タと表面反射強度を算出し、疵判定部は算出したエリプソパラメ-タと表面反射強度の特性とあらかじめ定められた表面疵の特性とを比較して表面疵の種類と等級を判定することを特徴とする表面検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/89
, G01B 11/30
, G01N 21/21
G01N 21/89 B
, G01B 11/30 E
, G01N 21/21 Z
