特許

J-GLOBAL ID：200903027620618374

導波路型電気光学素子

発明者： 羽鳥 正美
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-222704
公開番号（公開出願番号）：特開平6-214264
出願日： 1992年08月21日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【目的】 電気光学効果を有する薄膜光導波路の上に格子状電極が形成されてなり、この格子状電極への電圧印加に応じて導波光を回折させる導波路型電気光学素子において、DCドリフトを防止する。【構成】 薄膜光導波路11と格子状電極(EOG電極)13との間に、該EOG電極13の各電極毎に分離したバッファ層12を介設する。

請求項（抜粋）：

電気光学効果を有する薄膜光導波路と、この光導波路上に形成された格子状電極と、この格子状電極に電圧を印加する駆動回路とを有し、前記薄膜光導波路の格子状電極に対応する部分を導波する導波光を、該格子状電極への電圧印加状態に応じて選択的に回折させる導波路型電気光学素子において、前記薄膜光導波路として、プロトン交換および熱処理によって形成されたものが用いられ、前記格子状電極と薄膜光導波路との間に、各電極毎に分離したバッファ層が形成されていることを特徴とする導波路型電気光学素子。