特許
J-GLOBAL ID：200903027622620716
ジョセフソン集積回路用抵抗体とその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-008812
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198851
出願日： 1992年01月22日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】 本発明は,ジョセフソン集積回路用抵抗体の製造方法に関し,抵抗体の保護膜を必要とせず, 抵抗体と超伝導体膜の接触抵抗の増大を防止する手段を得ることを目的とする。【構成】 絶縁膜1上の抵抗体パターンが,超伝導体膜5のパターン形成時にエッチングストッパとなる遷移金属2からなり,遷移金属2と超伝導体膜5との接続部において,遷移金属2は遷移金属窒化物3を介して超伝導体膜5と接続してなるように構成する。
請求項（抜粋）：
絶縁膜(1) 上 の抵抗体パターンが,超伝導体膜(5) のパターン形成時にエッチングストッパとなる遷移金属(2) からなり,該遷移金属(2)と該超伝導体膜(5) との接続部において,該遷移金属(2) は該遷移金属窒化物(3) を介して該超伝導体膜(5) と接続してなることを特徴とするジョセフソン集積回路用抵抗体。
IPC (2件)：
H01L 39/22 ZAA
, H01L 39/24 ZAA
