ガラス基板およびこれを使用した液晶表示装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：田中康博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-206124
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034957
出願日： 1991年07月24日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：

【要約】【目的】アクティブマトリクス型液晶表示装置のガラス基板として安価なソーダライムガラス、硼珪酸ガラスを使用可能にすることを目的とする。【構成】図は全面形成したノンドープのアモルファスシリコン層(23)、高濃度にリンをドープしたアモルファスシリコン層(26)をホトレジスト(27)をマスクとして選択エッチングして、TFTの半導体活性層およびコンタクト層を形成する工程を示す。ソーダライムガラス、あるいは硼珪酸ガラスが使用されるガラス基板(11)の全面にSiO2膜(12)およびTa2O5膜(13)が順次形成されて、この工程のアモルファスエッチャントに対する耐エッチャント能が付与されているため、ガラス基板(11)のエッチングによる表示品質の低下が防止される。

請求項（抜粋）：