特許
J-GLOBAL ID：200903027625887705
光導波路型変位センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠原 泰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-062783
公開番号（公開出願番号）：特開平8-261713
出願日： 1995年03月22日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【目的】光導波路基板と屈折率分布型レンズを備える光導波路型変位センサにおいて、測定光の集光特性に優れ、かつ、前記基板とレンズとの境界面に反射防止膜を施すことなく、測定光の減衰低減を可能にする。【構成】光導波路基板Aの一端面は斜面1dとして形成され、該斜面には測定光用入出力端が形成されている。光軸中心線が光導波路基板Aの長手方向Xと一致するように配置されている屈折率分布型レンズ6の一端面6aは斜面1dに平行に、他方の端面6bは光軸中心線に対して垂直に形成されている。屈折率分布型レンズの端面6bには反射防止膜7が形成されている。
請求項（抜粋）：
長手方向の両端面のうち少なくとも一方の端面を該長手方向に対して斜面とし、該斜面に測定光用入出力端を形成した光導波路基板と、前記光導波路基板の前記測定光用入出力端との間で光の伝達が行えるように配置された屈折率分布型レンズとを備え、前記屈折率分布型レンズはその光軸中心線が前記光導波路基板の長手方向と一致するように配置され、前記屈折率分布型レンズの端面のうち前記光導波路基板に相対する端面は前記光導波路基板の斜面と平行に、かつ、他方の端面は該屈折率分布型レンズの光軸中心線に対して垂直に形成されており、前記屈折率分布型レンズの他方の端面には反射防止膜が形成されていることを特徴とする光導波路型変位センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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