アクティブマトリクス型表示装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-106611
公開番号（公開出願番号）：特開2002-305306
出願日： 2001年04月05日
公開日（公表日）： 2002年10月18日
要約：

【要約】【課題】有機保護絶縁膜及び画素電極を薄膜トランジスタ上に配置した場合にも低オフ電流で安定動作する薄膜トランジスタ及びそれを用いた液晶表示装置の提供。【解決手段】スイッチング素子として、薄膜トランジスタを表示部、又は駆動部に使用するアクティブマトリクス型表示装置において、前記薄膜トランジスタは、絶縁基板上に、ゲート電極,ゲート絶縁膜,半導体層,ドレイン電極及びソース電極を順次積層し、前記保護絶縁膜側の半導体層表面が多孔質であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

スイッチング素子として、薄膜トランジスタを表示部、又は駆動部に使用するアクティブマトリクス型表示装置において、前記薄膜トランジスタは、絶縁基板上に、ゲート電極,ゲート絶縁膜,半導体層,ドレイン電極,ソース電極及び保護絶縁膜を順次積層し、前記保護絶縁膜側の半導体層表面が多孔質であることを特徴とした、アクティブマトリクス型表示装置。

IPC (8件)：

H01L 29/786 , G02F 1/1333 505 , G02F 1/1368 , G09F 9/00 338 , G09F 9/00 342 , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 348 , H01L 21/316

FI (9件)：

G02F 1/1333 505 , G02F 1/1368 , G09F 9/00 338 , G09F 9/00 342 Z , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 348 A , H01L 21/316 T , H01L 29/78 618 E , H01L 29/78 617 N

Fターム (79件)：

2H090HA03 , 2H090HA04 , 2H090HB08X , 2H090HB12X , 2H090HD05 , 2H090LA01 , 2H090LA04 , 2H092GA14 , 2H092JA26 , 2H092JA28 , 2H092JB07 , 2H092JB56 , 2H092KB21 , 2H092MA22 , 2H092NA22 , 5C094AA22 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA05 , 5C094DA13 , 5C094EA04 , 5C094EA07 , 5C094FB14 , 5C094JA08 , 5F058BA20 , 5F058BC02 , 5F058BF70 , 5F058BJ03 , 5F110AA06 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110EE04 , 5F110EE30 , 5F110EE44 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG12 , 5F110GG13 , 5F110GG14 , 5F110GG15 , 5F110GG19 , 5F110GG22 , 5F110GG24 , 5F110GG33 , 5F110GG45 , 5F110GG58 , 5F110GG60 , 5F110HK04 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK25 , 5F110HK33 , 5F110HK35 , 5F110HL03 , 5F110HL23 , 5F110HL27 , 5F110NN01 , 5F110NN04 , 5F110NN05 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN35 , 5F110NN36 , 5F110NN72 , 5F110QQ09 , 5G435AA16 , 5G435BB12 , 5G435CC09 , 5G435HH13 , 5G435HH14 , 5G435KK05 , 5G435KK09 , 5G435KK10

前のページに戻る