特許

J-GLOBAL ID：200903027631824740

光吸収性透明導電膜およびスパッタリングターゲット

発明者： 阿部 能之
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 鴨田 朝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-401822
公開番号（公開出願番号）：特開2002-201029
出願日： 2000年12月28日
公開日（公表日）： 2002年07月16日
要約：

【要約】【課題】 従来の導電性で光吸収性を備えた反射防止膜に比べて、光吸収性および抵抗値を目的に応じてコントロールでき、反応性ガスを用いる必要がなく、成膜速度および膜質の再現性が高い直流スパッタリングで製造できる光吸収性透明導電膜、および該光吸収性透明導電膜をスパッタリング法で製造するためのスパッタリングターゲットを、提供する。【解決手段】 酸化インジウムを主成分として、ルテニウム/インジウム原子数比が0.001〜0.11の範囲で、ルテニウムを含み、かつスズ/インジウム原子数比が0.001〜0.163の範囲で、スズを含む。

請求項（抜粋）：

酸化インジウムを主成分として、ルテニウム/インジウム原子数比が0.001〜0.11の範囲で、ルテニウムを含むことを特徴とする光吸収性透明導電膜。

IPC (6件)：

C01G 55/00 ,  C03C 17/245 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  H01B 1/08 ,  H01B 5/14

FI (6件)：

C01G 55/00 ,  C03C 17/245 A ,  C23C 14/08 D ,  C23C 14/34 A ,  H01B 1/08 ,  H01B 5/14 A

Fターム (32件)：

4G048AA03 ,  4G048AC04 ,  4G048AD02 ,  4G059AA08 ,  4G059AC04 ,  4G059AC11 ,  4G059AC12 ,  4G059AC30 ,  4G059EA01 ,  4G059EA03 ,  4G059EA18 ,  4G059EB04 ,  4K029AA09 ,  4K029BA45 ,  4K029BC08 ,  4K029BC09 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC34 ,  4K029DC40 ,  5G301CA02 ,  5G301CA15 ,  5G301CA21 ,  5G301CA23 ,  5G301CD03 ,  5G301CE01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC09 ,  5G307FC10