特許

J-GLOBAL ID：200903027632849150

CO2センサ

発明者： 中川 隆洋
出願人/特許権者： 日本セラミック株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-131942
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160347
出願日： 1992年04月23日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：

【要約】【目的】 センサ素子部をヒータ上に薄膜形成することによりセンサ出力を安定化させ、さらに耐振動、耐衝撃性も向上させる。【構成】 ヒータ上に基準電極膜、固体電解質膜、検知電極膜を積層形成したCO2センサ。

請求項（抜粋）：

アルカリ金属イオン又はアルカリ土類金属イオン導電性固体電解質(以下固体電解質という)と、CO2と解離平衡をなす金属炭酸塩を保持した検知電極と、対をなす基準電極及びこれらを加熱するヒータより構成されるCO2センサにおいて、ヒータ上に固体電解質薄膜もしくは厚膜を形成することを特徴とするCO2センサ。

IPC (2件)：

G01N 27/416 ,  G01N 27/406

FI (2件)：

G01N 27/46 376 ,  G01N 27/58 Z