特許

J-GLOBAL ID：200903027652271830

トルクセンサおよびその製造方法

発明者： 篠浦 治
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-203944
公開番号（公開出願番号）：特開2002-250662
出願日： 2001年07月04日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】【課題】 量産性に優れるとともに耐久性にも優れた回転方向の検出が可能な高感度磁歪式トルクセンサおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 軸の表面に磁気歪み効果を有する磁歪膜がめっき法、溶射法、スパッタ法または蒸着法により形成され、前記軸に加えられるトルクを検出するトルクセンサであって、前記軸と前記磁歪膜の間に前記軸および前記磁歪膜より融点の低い中間膜がめっき法、溶射法、スパッタ法または蒸着法により形成されている。また磁歪膜の形成後に、前記軸の融点以下かつ前記磁歪膜の融点以下で、前記中間膜の融点以上の温度において、軸にトルクを印加した状態で前記中間膜の融点以下の温度まで降温し、その後前記トルクを除去する。

請求項（抜粋）：

被トルク検出体である軸とその表面に形成された磁歪膜と前記磁歪膜の磁気特性の変化を検出するためのコイルからなるトルクセンサであって、前記軸と前記磁歪膜との間に前記軸および前記磁歪膜の融点よりも低い融点を有する中間膜が形成されていることを特徴とするトルクセンサ。

IPC (3件)：

G01L 3/10 ,  H01L 41/12 ,  H01L 41/22

FI (3件)：

G01L 3/10 A ,  H01L 41/12 ,  H01L 41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-016238
  
• 特開昭59-181576