特許
J-GLOBAL ID：200903027655001728
干渉顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-244724
公開番号（公開出願番号）：特開平10-089912
出願日： 1996年09月17日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】 再現性および精度の良い計測値が得られる干渉顕微鏡を提供する。【解決手段】 コヒーレントな照明光を発生する光源手段21,22,23と、この光源手段からの照明光により観察物体30と参照物体31との干渉像を生成する干渉装置27と、干渉装置27によって生成される干渉像の拡大像を所定の結像面に形成する対物レンズ26と、拡大像を撮像する撮像装置32と、光源手段から観察物体30を経由して干渉像までの光路と光源手段から参照物体31を経由して干渉像までの光路との位相差を変調する位相変調装置36と、位相変調装置36で位相差を変調することにより、撮像装置32から得られる複数の干渉像に基づいて観察物体30の表面近傍での位相分布を算出する位相分布算出手段33と、この位相分布算出手段33で算出される位相分布の特異点が明確に現れるように、観察物体30に対する対物レンズ26の焦点位置を調節する焦点調節装置35とを有する。
請求項（抜粋）：
コヒーレントな照明光を発生する光源手段と、この光源手段からの照明光により観察物体と参照物体との干渉像を生成する干渉装置と、前記干渉装置によって生成される干渉像の拡大像を所定の結像面に形成する対物レンズと、前記拡大像を撮像する撮像装置と、前記光源手段から前記観察物体を経由して前記干渉像までの光路と、前記光源手段から前記参照物体を経由して前記干渉像までの光路との位相差を変調する位相変調装置と、この位相変調装置で前記位相差を変調することにより、前記撮像装置から得られる複数の干渉像に基づいて前記観察物体の表面近傍での位相分布を算出する位相分布算出手段と、この位相分布算出手段で算出される前記位相分布の特異点が明確に現れるように、前記観察物体に対する前記対物レンズの焦点位置を調節する焦点調節装置とを有することを特徴とする干渉顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 9/02
, G01B 9/04
, G02B 21/00
G01B 9/02
, G01B 9/04
, G02B 21/00
