特許

J-GLOBAL ID：200903027655331698

測定装置

発明者： 神藤 洋爾
出願人/特許権者： 日本分光株式会社
代理人 (1件)： 松井 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-313335
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146699
出願日： 1998年11月04日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【目的】 固体等のLD,LBが大きい試料であっても確実にCDを測定することのできるCD測定装置を提供すること【構成】 光源1から出射される光の光路上にモノクロメータ2,偏光子3,偏光変調器4,試料室5,検光子6,検出器7を配置し、その検出器7の出力を信号処理装置8に与える。検出器からは、偏光変調器の変調周波数と同一の50kHzと、二倍の100kHzが出力される。検光子は、移動可能となり、検光子を光路外に位置させた状態で試料の見かけのCD値(50kHz成分)及びLD値(100kHz成分)が最大となる前記試料の回転角θ1と、検光子を光路上に位置させた状態でLB値(50kHz成分)が最大となる試料の回転角θ2とそのときのLB値を測定し、これらの測定値より信号処理装置が計算により真のCD値を算出する。

請求項（抜粋）：

単色光を直線偏光させる偏光子と、その偏光子を透過した光の偏光状態を所定の基本変調周波数で、右回りの円偏光、左回りの円偏光に同時に基本変調周波数の2倍の周波数で垂直方向の直線偏光、水平方向の直線偏光に交番的に変化させる偏光変調器と、その偏光変調器から得られた光の光路に配置された試料室と、その試料室を通過した光が透過する検光子を透過した光の強度を検出する検出器と、その検出器の出力に基づいて信号処理する信号処理部を備えた偏光変調測定装置であって、前記検光子の光軸が前記偏光子の光軸に対し45度の差を持った配置とするとともに、前記検光子は光路に対して出没可能とし、前記信号処理部は、前記検出器の出力信号のうち前記偏光変調器における変調周波数に相当する周波数成分及びその変調周波数の2倍の周波数成分に基づいて信号処理するもので、前記検光子を光路外に位置させた状態で前記試料の見かけのCD値及びLD値が最大となる前記試料の回転角θ1とそのときのLD値と、前記検光子を光路上に位置させた状態でLB値が最大となる前記試料の回転角θ2とそのときのLB値を測定し、これらの測定値より計算により真のCD値を算出する測定装置。

IPC (3件)：

G01J 4/04 ,  G01J 3/447 ,  G01N 21/19

FI (3件)：

G01J 4/04 Z ,  G01J 3/447 ,  G01N 21/19

Fターム (27件)：

2G020AA03 ,  2G020AA04 ,  2G020BA20 ,  2G020CB04 ,  2G020CB24 ,  2G020CB31 ,  2G020CC01 ,  2G020CD15 ,  2G020CD23 ,  2G020CD31 ,  2G059AA02 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059DD13 ,  2G059EE04 ,  2G059EE05 ,  2G059EE11 ,  2G059GG04 ,  2G059GG09 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ19 ,  2G059KK02 ,  2G059LL04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM10 ,  2G059NN01