特許

J-GLOBAL ID：200903027662233359

物品取扱部材

発明者： 天田 春男 ,  石川 勉
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-098551
公開番号（公開出願番号）：特開平8-293536
出願日： 1995年04月24日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【目的】 ウエハなどの被処理物を保持したり収容したりするなどのために被処理物に対して直接あるいは静電気的に接触する際に、被処理物に帯電した静電気の放電電流を所定値以下に制御し、放電に伴う被処理物の静電気損傷の発生を防止する。また、被処理物が物品取扱部材に接触する際に、被処理物を金属成分などにより汚染させることなく、清浄かつ高純度な状態に保持し得るようにする。【構成】 所定の形状の物品取扱部材としてのカセット11の母材を、導電性高分子材料、または導電性高分子材料と硬化性樹脂材料との混合材料により形成する。導電性高分子材料および硬化性樹脂材料としては、光硬化性導電性高分子材料および光硬化性樹脂材料、または熱硬化性導電性高分子材料および熱硬化性樹脂材料、あるいは放射線硬化性導電性高分子材料および放射線硬化性樹脂材料を用いることができる。

請求項（抜粋）：

所定の形状の物品取扱部材の母材を、導電性高分子材料、または導電性高分子材料と硬化性樹脂材料との混合材料により形成することを特徴とする物品取扱部材。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86 ,  B65G 49/07 ,  H05F 3/04

FI (5件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 T ,  B65G 49/07 E ,  H05F 3/04 Z ,  B65D 85/38 R