特許
J-GLOBAL ID：200903027665316310

ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置

発明者：
真壁 裕明

真壁 裕明 について

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番場 敏夫

番場 敏夫 について

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平野 孝

平野 孝 について


出願人/特許権者：
住友ベークライト株式会社

住友ベークライト株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-262718
公開番号（公開出願番号）：特開2003-029407
出願日： 2001年08月31日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：
【要約】【課題】 半導体素子の表面保護膜、層間絶縁膜として、耐熱性に優れ又卓越した電気特性、機械特性等を有し、高感度かつ高解像度であるポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置を提供する。【解決手段】 ポリアミド樹脂(A)100重量部と、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜50重量部と、フェノール化合物(C)1〜30重量部からなるポジ型感光性樹脂組成物である。また、上記のポジ型感光性樹脂組成物を用いて製作された半導体装置である。
請求項（抜粋）：
一般式(1)で示されるポリアミド樹脂(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜50重量部及び一般式(2)で示されるフェノール化合物(C)1〜30重量部からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】
IPC (3件)：
G03F 7/037 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G03F 7/037 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (13件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB23 ,  2H025CB32 ,  2H025CB43 ,  2H025FA17
引用特許：
審査官引用 (9件)
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