ウエハ研磨装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-206835
公開番号（公開出願番号）：特開平10-044029
出願日： 1996年08月06日
公開日（公表日）： 1998年02月17日
要約：

【要約】【課題】ウエハを研磨面内で均一に研磨するようにしたウエハ研磨装置を提供する。【解決手段】ウエハ研磨装置50は、下部ホルダ部20の上面に結合され上面周縁を押圧する伸縮自在のベローズ継ぎ手56と、ベローズ継ぎ手56の上端に結合され回転機構を有する上部ホルダ部58とを備えたウエハホルダ52を備えている。被研磨面を下向けにしてウエハ70をウエハホルダ52に保持し、研磨パッド14に押圧して回転しウエハ被研磨面を研磨する際、研磨パッド14の回転面が傾くとベローズ継ぎ手56により下部ホルダ部20は追従して傾き、ウエハ70と研磨パッド14との間に隙間は生じない。よって、ウエハ70は、研磨面内で均一に研磨される。

請求項（抜粋）：

ウエハを研磨する研磨パッドを上面に保持して回転する研磨定盤と、ウエハを保持して研磨パッドに押圧しながら回転するウエハホルダとを備えたウエハ研磨装置において、ウエハホルダは、ウエハ被研磨面を研磨パッドに向けてウエハを吸着、保持する吸着体を有する下部ホルダ部と、下部ホルダ部に対面して上方に延在する上部ホルダ部と、下部ホルダ部の周縁と上部ホルダ部の周縁とを連結するベローズ継ぎ手と、下部ホルダ部、ベローズ継ぎ手及び上部ホルダ部からなる空気室に圧力空気を送入する機構と、上部ホルダ部にほぼ直交して連結された回転軸及び回転軸を回転させる回転機構と、回転軸を貫通する中空部及び連結パイプを介して下部ホルダ部の吸着体を吸引し、吸着体にウエハを吸着する吸引機構とを備えることを特徴とするウエハ研磨装置。

IPC (5件)：

B24B 37/04 , B08B 1/04 , H01L 21/304 321 , H01L 21/304 , H01L 21/68

FI (5件)：

B24B 37/04 E , B08B 1/04 , H01L 21/304 321 E , H01L 21/304 321 H , H01L 21/68 P

前のページに戻る