特許

J-GLOBAL ID：200903027667628785

圧力センサ

発明者： 宮内 伸二 ,  大橋 徳良 ,  久保 幸作 ,  中根 伸一 ,  新井 利則 ,  宇野 尚 ,  中溝 佳幸 ,  田中 清之 ,  石割 博之 ,  福久 孝治
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社 ,  北陸電気工業株式会社
代理人 (1件)： 廣澤 勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-225342
公開番号（公開出願番号）：特開平6-050834
出願日： 1992年07月31日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：

【要約】【目的】 被測定ガスに直接触れる部分の耐ガス性能を確保し、変形、変質等にによりセンサ外部へガス漏れが発生することを防止し、長期間、耐ガス性能が保証され、信頼性が高いものにする。【構成】 ケース32内に半導体の圧力センサ素子20を収容し、センサ素子20を保持し圧力導入孔27を有した取付部材24を、センサ素子20の熱膨張率と近い熱膨張率の金属で形成する。センサ素子20の熱膨張率と近い熱膨張率の金属製の管であってセンサ素子20の裏面側に取付部材24を介して被測定圧を導入する圧力導入管25を、圧力導入孔27の周囲に接続する。センサ素子20と取付部材24及び圧力導入管25を互いに金属材料により接合し、圧力導入管25の外壁面とケース32の圧力導入部34の内壁面との間に、Oリング38を気密状態に介在させる。

請求項（抜粋）：

半導体の圧力センサ素子と、この圧力センサ素子を収容したケースと、上記センサ素子の熱膨張率と近い熱膨張率の金属で形成され上記センサ素子を保持した取付部材と、上記センサ素子が取り付けられる部分の取付部材に形成され上記センサ素子で周囲が密閉状態に囲まれた圧力導入孔と、上記センサ素子の熱膨張率と近い熱膨張率の金属製の管であって上記センサ素子の裏面側に上記取付部材を介して上記圧力導入孔の周囲に接続された圧力導入管と、上記センサ素子と取付部材及び圧力導入管を互いに接合した金属製の接続部と、上記圧力導入管の外壁面と上記ケースの圧力導入部の内壁面との間に気密状態に介在されたOリングと、を備えたことを特徴とする圧力センサ。