特許

J-GLOBAL ID：200903027669585722

外観検査装置および外観検査方法

発明者： 冨谷 博
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-181228
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015451
出願日： 1999年06月28日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】 複数種類の検査に対応でき、他の項目に対する検査にも迅速に対応できるようにすること。【解決手段】 本発明は、複数種類の外観検査を行う装置において、複数種類の外観検査に各々対応して設けられる複数の検査パラメータ設定プログラム1と、複数の検査パラメータ設定プログラム1で設定されたパラメータに基づき共通フォーマットから成るテーブルデータを生成するデータ生成部2と、データ生成部2で生成されたテーブルデータを用いて各種類に対応した外観検査を行う検査プログラム3とを備えている。

請求項（抜粋）：

複数種類の外観検査を行う装置において、前記複数種類の外観検査に各々対応して設けられる複数の検査パラメータ設定手段と、前記複数の検査パラメータ設定手段で設定されたパラメータに基づき共通フォーマットから成るテーブルデータを生成するデータ生成手段と、前記データ生成手段で生成されたテーブルデータを用いて各種類に対応した外観検査を行う外観検査手段とを備えていることを特徴とする外観検査装置。

IPC (3件)：

H01L 21/28 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30

FI (3件)：

H01L 21/28 Z ,  G01B 11/30 A ,  G01B 11/24 K

Fターム (30件)：

2F065AA04 ,  2F065AA21 ,  2F065AA45 ,  2F065AA53 ,  2F065AA61 ,  2F065BB05 ,  2F065CC25 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065KK02 ,  2F065MM02 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ42 ,  2F065RR08 ,  2F065SS02 ,  2F065SS04 ,  2F065SS13 ,  2F065UU05